半导体晶硅行业用的氮化硅原材料在加工的过程中会排放出含有氮化物、氟等的污染物，因有着耐火、耐腐蚀等的特性现被广泛应用于半导体行业中，而随着电子半导体行业的不断发展，晶硅氮化硅工业废水的废水量也越来越多，对于晶硅脱氮除氟废水处理应该怎么处理呢?

　　半导体晶硅工业废水中的氮以及氟化合物在经过处理之后是可以进行回收重新利用的，电子产品加工的过程中主要会产生两类的工业废水，一类的酸性，主要来源于废酸液和废碱液，其含氟离子和硝态氮较高，另一类废水pH值接近中性，其含氟离子量较低但水量大。

　　宏森环保主要采用晶硅废水超滤处理+反渗透系统处理，然后将分离开来的废水再分别进行处理，最后达到回收部分可利用资源，降低处理成本。

　　将晶硅废水运送至半导体晶硅废水处理设备进行超滤+反渗透系统处理可以分离出含氟含硝态氮浓水和清水，将分离出来的含氟含硝废水和强酸性高氟废水进行混合，废水在混合之后进入一级沉淀除氟池，往废水处理设备中加入化学药剂，反应生成后的氟化钙沉淀作为泥渣进行去除，接着将废水中的上清液导入反硝化池。

　　在反硝化池中是可以将细菌进行生化脱氮，然后将处理后的废水导入二级沉淀除氟池，接着二级的沉淀除氟池可以使得氟离子形成氟化钙沉淀而除去，最后晶硅废水达到了脱氮除氟的目的，废水达标后即可排放。